Hersteller Applied Materials | P/N 0100-09017 | Bezeichnung Chamber Interconnect | Gruppe VME Board |
Hersteller Applied Materials | P/N 0100-20083 | Bezeichnung AI Mux/Cryo Temp | Gruppe VME Board |
Hersteller Applied Materials | P/N 0100-09022 | Bezeichnung Mini AI/AO | Gruppe VME Board |
Hersteller Applied Materials | P/N 0100-35227 | Bezeichnung E-Chuck Controller | Gruppe VME Board |
Hersteller Applied Materials | P/N 0100-90077 | Bezeichnung Thermistor Gauge PCB | Gruppe VME Board |
Hersteller Applied Materials | P/N 0100-09242 | Bezeichnung Pneumatic Distribution PCB | Gruppe VME Board |
Hersteller Applied Materials | P/N 0100-09050 | Bezeichnung Ozonator Distribution PCB | Gruppe VME Board |
Hersteller Applied Materials | P/N 0100-35059 | Bezeichnung Remote Distribution PCB | Gruppe VME Board |
Hersteller Applied Materials | P/N 0100-90165 | Bezeichnung TGT Chamber Inst MB | Gruppe VME Board |
Hersteller Applied Materials | P/N 0100-76004 | Bezeichnung Centerfinder PCB | Gruppe VME Board |